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4月南京-半材标委-会议资料
2021-04-12 15:37:16

国家标准-硅单晶退火片-编制说明（送审稿）.doc

国家标准-硅单晶退火片-送审稿.docx

国家标准-碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定二次离子质谱法-编制说明（送审稿）.doc

国家标准-碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定二次离子质谱法-送审稿.doc

国家标准-硅单晶中III、V族杂质含量的测定低温傅立叶变换红外光谱法-编制说明（预审稿）.doc

国家标准-硅单晶中III、V族杂质含量的测定低温傅立叶变换红外光谱法-预审稿.docx

国家标准-磷化镓单晶-编制说明（送审稿）.doc

国家标准-磷化镓单晶-送审稿.docx

国家标准-磷化铟单晶-编制说明（送审稿）.doc

国家标准-磷化铟单晶-送审稿.docx

国家标准-碳化硅单晶位错密度检测方法-编制说明（预审稿）.docx

国家标准-碳化硅单晶位错密度测试方法-预审稿.docx

国家标准-碳化硅单晶抛光片-送审稿.docx

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国家标准-硅片流动图形缺陷的检测方法腐蚀法-讨论稿.doc

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国家标准-多晶硅表面金属杂质含量的测定酸浸取-电感耦合等离子体质谱法-讨论稿.docx

国家标准-多晶硅表面金属杂质含量的测定酸浸取-电感耦合等离子体质谱法-编制说明（讨论稿）.doc

国家标准-碳化硅外延层厚度的测试红外反射法-讨论稿.doc
国家标准-碳化硅外延层厚度的测试红外反射法-编制说明（讨论稿）.docx

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