3月东莞—半材标委—会议资料(3.27-3.29)
2023-03-22 16:34:32   

国家标准- 半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第3部分:缺陷的光致发光检测标准-预审稿.pdf
国家标准- 半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第3部分:缺陷的光致发光检测标准-预审稿-编制说明.docx
国家标准-半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第1部分:缺陷分类-编制说明-预审稿.docx
国家标准-半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第1部分:缺陷分类-预审稿.pdf
国家标准-半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第2部分:缺陷的光学检测标准 -预审稿.pdf
国家标准-半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第2部分:缺陷的光学检测标准 -预审稿-编制说明.docx
国家标准-高纯镓-编制说明(预审稿).docx
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国家标准-碳化硅外延片-编制说明(讨论稿).doc
国家标准-碳化硅外延片-讨论稿.doc
行业标准-硅材料中氢含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融热导检测法(讨论稿).doc
行业标准-硅材料中氢含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融热导检测法-编制说明(讨论稿).doc
行业标准-流化床法颗粒硅总金属含量的测定  电感耦合等离子体质谱法(讨论稿).doc
行业标准-流化床法颗粒硅总金属含量的测定  电感耦合等离子体质谱法-编制说明(讨论稿).doc

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