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3月东莞—半材标委—会议资料（3.27-3.29）
2023-03-22 16:34:32

国家标准-蓝宝石图形化衬底片-编制说明-（预审稿）.docx

国家标准-蓝宝石图形化衬底片-预审稿

国家标准-碳化硅晶体材料缺陷图谱-编制说明（预审稿）.docx

国家标准-碳化硅晶体材料缺陷图谱-预审稿.pdf

国家标准-碳化硅抛光片表面质量和微管的测试方法共焦点微分干涉法 -编制说明（送审稿）.doc

国家标准-碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试共焦点微分干涉法-送审稿.doc

国家标准-蓝宝石图形化衬底片-编制说明-（预审稿）.docx

国家标准-蓝宝石图形化衬底片-预审稿.pdf

国家标准- 半导体器件功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据第3部分：缺陷的光致发光检测标准-预审稿.pdf

国家标准- 半导体器件功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据第3部分：缺陷的光致发光检测标准-预审稿-编制说明.docx

国家标准-半导体器件功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据第1部分：缺陷分类-编制说明-预审稿.docx

国家标准-半导体器件功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据第1部分：缺陷分类-预审稿.pdf

国家标准-半导体器件功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据第2部分：缺陷的光学检测标准 -预审稿.pdf

硅中代位碳含量的红外吸收测试方法-编制说明-预审稿.doc

硅中代位碳含量的红外吸收测试方法-预审稿.doc

国家标准-半导体器件功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据第2部分：缺陷的光学检测标准 -预审稿-编制说明.docx

国家标准-高纯镓-编制说明（预审稿）.docx

国家标准-高纯镓-预审稿.docx

国家标准-碳化硅外延片-编制说明（讨论稿）.doc

国家标准-碳化硅外延片-讨论稿.doc

行业标准-硅材料中氢含量的测定脉冲加热惰性气体熔融热导检测法（讨论稿）.doc

行业标准-硅材料中氢含量的测定脉冲加热惰性气体熔融热导检测法-编制说明（讨论稿）.doc

行业标准-流化床法颗粒硅总金属含量的测定电感耦合等离子体质谱法（讨论稿）.doc

行业标准-流化床法颗粒硅总金属含量的测定电感耦合等离子体质谱法-编制说明（讨论稿）.doc

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