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12月苏州—半材标委—会议资料（12.10-12.12）
2024-12-09 14:29:31

国家标准-300mm硅外延片-讨论稿.docx

国家标准-改良西门子法生产多晶硅安全规范-编制说明.doc

国家标准-改良西门子法生产多晶硅安全规范-送审稿.doc

国家标准-硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法(预审稿）.docx

国家标准-硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法编制说明(预审稿）.docx

国家标准-蓝宝石单晶衬底抛光片（预审稿）.docx

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国家标准-重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的测试红外反射法- 编制说明- 预审稿.doc

国家标准-重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的测试红外反射法-预审稿.doc

团体标准-半导体外延用等静压石墨-讨论稿.docx

团体标准-硅多晶用包装袋表面杂质含量的测定-电感耦合等离子体质谱法-编制说明.docx

团体标准-硅多晶用包装袋内表面杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法-讨论稿.docx

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