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序号
标准号
标准名称
代替标号
国家/行业
1
JIS H 0601:1962 锗电阻率测试方法
2
JIS H 0602:1995 四点探针法测定硅单晶和硅片电阻率
3
JIS H 0603:1978 光导衰变法测定锗中少数载流子寿命
4
JIS H 0604:1995 光导衰变法测定硅单晶中少数载流子寿命
5
JIS H 0607:1978 热电动法测定锗中导电类型
6
JIS H 0608:1978 Withdrawn 硅中硼含量估计
7
JIS H 0609:1999 采用择优腐蚀测定硅中晶体缺陷试验方法
8
JIS H 0610:1966 锗单晶腐蚀坑密度测试方法
9
JIS H 0611:1994 硅片厚度、厚度变化和弯曲度测试方法
10
JIS H 0613:1978 硅切割研磨片目视检查方法
11
JIS H 0614:1996 硅片定向反射面目视检查方法
12
JIS H 1191:1991 Withdrawn 砷化镓化学分析试验方法
13
JEITA EM-3510:2007 硅片边缘滚动测试方法
14
JEITA EM-3601A:2004 高纯多晶硅规范
15
JEITA EM-3602:2002 定向反射面硅片尺寸特性标准规范
16
JEITA EM-3603B:2006 SOI硅片和术语标准
17
JEITA EM-3604:2005 SOI厚晶片规范
18
JEITA EM-3501:2002 半导体硅单晶晶向测试方法
19
JEITA EM-3503:2002 红外吸收法测定硅中代位碳原子浓度
20
JEITA EM-3506:2003 采用短波激发微波光电导衰减法测定硅外延片
21
JEITA EM-3508:2005 退火硅片中体微缺陷密度和剥露区宽度测量方法
22
JEITA EM-3509:2005 用于硅片表面光电压法测量少子寿命扩散长度试样制备方法
23
JEITA EM-3510:2007 硅片边缘塌边测量方法
24
JEITA EM-3511:2009 表面光电压法测量p型硅片中铁浓度方法
25
JEITA EM-3512:2009 硅晶体中氮浓度测试方法