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9月昆明-半材标委-会议资料(更新)
2009-09-23 14:10:30
国家标准《300mm硅单晶》(征求意见稿).doc
国家标准《300mm硅单晶抛光试验片》(征求意见稿).doc
国家标准《300mm硅单晶切割片和磨削片》(征求意见稿).doc
国家标准《关于硅片平坦表面的表面粗糙度的测量指南》(征求意见稿).rar
国家标准《硅片切口尺寸测试方法》(送审稿).doc
国家标准《硅片切口尺寸测试方法》(送审稿)编制说明.doc
国家标准《硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法》(征求意见稿).doc
国家标准《重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法》(送审稿).doc
国家标准《半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法》(送审稿).doc
国家标准《半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法》(送审稿)编制说明 .doc
国家标准《硅单晶抛光试验片规范》(送审稿).doc
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