2006年全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会秘书处会议安排
2006-05-16 10:30:40   

第一次会议:项目包括(修改)   (洛阳)     六月
国标
项目名称
主起草单位
备注
GB/T 14264-1993
半导体材料术语
中国有色金属工业标准计量质量研究所、有色院等
第二次会议
GB/T 1555-1997
半导体单晶晶向测定方法
峨嵋半导体材料厂
讨论会 
GB/T 1558-1997
硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法
峨嵋半导体材料厂
讨论会
GB/T 4058-1995
硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法
峨嵋半导体材料厂
讨论会
GB/T 6616-1995
半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测定  非接触涡流法
有研半导体材料股份有限公司
讨论会
GB/T 6617-1995
硅片电阻率测定  扩展电阻探针法
中科院半导体所
讨论会
GB/T 6618-1995
硅片厚度和总厚度变化测试方法
有研半导体材料股份有限公司
讨论会
GB/T 6619-1995
硅片弯曲度测试方法
洛阳单晶硅有限责任公司
讨论会
GB/T 6620-1995
硅片翘曲度非接触式测试方法
洛阳单晶硅有限责任公司
讨论会
GB/T 6621-1995
硅抛光片表面平整度测试方法
上海合晶硅材料有限公司
讨论会
GB/T 6624-1995
硅抛光片表面质量目测检验方法
上海合晶硅材料有限公司
讨论会
GB/T 10118-1988
高纯镓
有研半导体材料股份有限公司
讨论会
GB/T 11072-1989
锑化铟多晶、单晶及切割片
峨嵋半导体材料厂
讨论会
GB/T 13387-1992
电子材料晶片参考面长度测量方法

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