首页 > 标准目录列表
序号 |
标准号 |
标准名称 |
代替标号 |
国家/行业 |
1 |
SEMI M1-1109 | 硅单晶抛光片规范 | ||
2 |
SEMI M3-0304（撤销0707） | 蓝宝石单晶抛光衬底规范 | ||
3 |
SEMI M4-1103（撤销0307） | SOS外延片规范 | ||
4 |
SEMI M6-1108 | 太阳能电池级硅片规范 | ||
5 |
SEMI M8-0307 | 硅单晶抛光试验片规范 | ||
6 |
SEMI M9-0708 | 砷化镓单晶抛光片规范 | ||
7 |
SEMI M16-1110 | 多晶硅规范 | ||
8 |
SEMI M19-91 | 体砷化镓单晶衬底电学特性规范 | ||
9 |
SEMI M22-0303（撤销0307） | 介电绝缘晶片（DI）规范 | ||
10 |
SEMI M23-0703 | 磷化铟单晶抛光片规范 | ||
11 |
SEMI M24-0307 | 优质硅单晶抛光片规范 | ||
12 |
SEMI M29-1296 | 300mm运输盒规范 | ||
13 |
（重新确认1110） | |||
14 |
SEMI M38-0307 | 回收硅片抛光规范 | ||
15 |
SEMI M41-0707 | 功率器件用硅绝缘衬底（SOI）规范 | ||
16 |
SEMI M42-1000 | 化合物半导体外延片规范 | ||
17 |
SEMI M45-1110 | 300mm晶片运输系统暂行规范 | ||
18 |
SEMI M47-0707（撤销1110） | CMOS LSI电路用绝缘硅（SOI）晶片规范 | ||
19 |
SEMI M54-0304 | 半绝缘（SI）砷化镓材料参数指南 | ||
20 |
SEMI M55-0308 | 碳化硅单晶抛光片规范 | ||
21 |
SEMI M57-0706 | 退火硅片详细规范指南 | ||
22 |
SEMI M61-0307 | 埋层硅外延片规范 | ||
23 |
SEMI M62-0309 | 硅外延片规范 | ||
24 |
SEMI M65-0306E | 化合物半导体外延片用蓝宝石衬底规范 | ||
25 |
SEMI PV3-3010 | 光伏电池处理工艺用高纯水指南 | ||
26 |
SEMI PV4-0710 | 光伏应用薄膜用第五代衬底尺寸规范 | ||
27 |
SEMI PV5-1110 | 光伏行业用氧气（大宗气体）指南 | ||
28 |
SEMI PV6-1110 | 光伏行业用氩气（大宗气体）指南 | ||
29 |
SEMI PV7-1110 | 光伏行业用氢气（大宗气体）指南 | ||
30 |
SEMI PV8-1110 | 光伏行业用氮气（大宗气体）指南 | ||
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