首页 > 标准目录列表
序号 |
标准号 |
标准名称 |
代替标号 |
国家/行业 |
1 |
SEMI M10-1296 | 鉴别砷化镓晶片上观察到的结构和特征的标准术语 | ||
2 |
SEMI M12-0706 | 晶片正面系列字母和数字标志规范 | ||
3 |
SEMI M13-0706 | 硅片上字母和数字标志规范 | ||
4 |
SEMI M14-89 | 半绝缘砷化镓单晶离子注入与激活工艺规范 | ||
5 |
SEMI M15-0298 | 半绝缘砷化镓抛光片缺陷限度表 | ||
6 |
SEMI M17-1110 | 晶片通用网格指南 | ||
7 |
SEMI M18-1107 | 硅片订货单格式输入规范指南 | ||
8 |
SEMI M20-1110 | 晶片坐标体系建立惯例 | ||
9 |
SEMI M21-1110 | 笛卡儿坐标阵列矩形单元寻址分配指南 | ||
10 |
SEMI M26-0304 | 晶片运输用100，125，150，和200 mm晶片盒重复使用指南 | ||
11 |
SEMI M32-0307 | 统计规范指南 | ||
12 |
SEMI M43-1109 | 晶片纳米形貌报告指南 | ||
13 |
SEMI M48-1101（撤销1110） | 未成型硅衬底上薄膜的化学机械抛光工艺评估指南 | ||
14 |
SEMI M59-1110 | 硅技术术语 |
