序号 | 项目名称 | 起草单位 | |
一等奖 | |||
1 | 蓝宝石产品及系列方法标准 | 蓝宝石单晶晶锭; 蓝宝石单晶衬底抛光片; 蓝宝石晶锭应力测试方法; 蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法; 蓝宝石衬底片翘曲度测试方法; 蓝宝石衬底片弯曲度测试方法 |
江苏协鑫软控设备科技发展有限公司、协鑫光电科技控股有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、浙江昀丰新能源科技有限公司、浙江上城科技有限公司、江苏吉星新材料有限公司、常州亿晶光电科技有限公司、新疆紫晶光电技术有限公司、北京合能阳光新能源技术有限公司 |
二等奖 | |||
2 | 改良西门子法生产多晶硅企业安全标准化实施指南 | 江苏中能硅业科技发展有限公司、峨嵋半导体材料研究所、中国有色金属工业标准计量质量研究所、新特能源股份有限公司、内蒙古神舟硅业有限责任公司 | |
三等奖 | |||
3 | 氮化镓系列方法标准 | 氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法; 氮化镓单晶衬底片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法; 氮化镓单晶位错密度的测量 阴极荧光显微镜法 |
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司、中国科学院物理研究所、北京天科合达蓝光半导体有限公司 |
4 | 太阳能电池用锗衬底片 | 中锗科技有限公司、云南临沧鑫圆锗业股份有限公司、厦门乾照光电股份有限公司、天津三安光电有限公司 |